تاثیر دمای زیرلایه بر روی خواص نانوساختاری لایه نیترید زیرکونیوم
سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 35
فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_IJSSE-7-12_003
تاریخ نمایه سازی: 10 آبان 1402
چکیده مقاله:
در این تحقیق تاثیر دمای زیر لایه در محدودهC˚۴۵۰-۱۰۰ برخواص ساختاری لایه های نیترید زیرکونیوم که به روش کندوپاش شعاع یونی روی زیر لایه شیشه وسیلیکون تهیه شده است، مورد بررسی قرار گرفته است. تعین ضخامت لایه ها با استفاده از آنالیز RBS (طیف پس پراکندگی رادرفورد) و تعیین فازهای کریستالی با توجه به آنالیز XRD (پراش پرتو X) انجام شده است. نتایج XRD نشان داد که با افزایش دما تا C˚۴۰۰ بر میزان بلوری شدن فاز نیترات زیرکونیوم افزوده شده ولی در دمای بالاتر، کاهش یافته است. در تمامی دماها جهت [۱۱۱] فاز نیترات زیرکونیوم جهت ترجیحی است. نتایج RBS نشان داد که ضخامت لایهZrN در دماهای بالاتر نسبت به دمایC ˚۱۰۰ افزایش یافته که می تواند به دلیل افزایش تشکیل مونومر های Zr-N برای تشکیل لایه وافزایش اندازه دانه باشد و نیز کاهش ضخامت در دمای ˚C ۴۵۰ به افزایش چگالی لایه وکاهش اندازه دانه مربوط است.
کلیدواژه ها: