ساخت چشمه پلاسمای کاتد داغ برای لایه نشانی به روش اسپاترینگ توسط پرتو یون

در این پژوهش یک نمونه چشمه پلاسمای کاتد داغ برای یک چشمه پرتو یون پهن به قطر ۵ سانتیمتر طراحی و ساخته شد. این چشمه یون قابل استفاده در لایه نشانی به روش کندوپاش است. وضعیت تشکیل پلاسما در خلا بالا (محدوه ۳-۱۰ تا ۴-۱۰میلی بار) و با اعمال میدان مغناطیسی توسط مجموعه آهنرباهای دائمی مورد مطالعه قرار گرفت. تاثیر پارامترهای کنترلی مختلف مانند فشار کار، پتانسیل تخلیه الکتریکی و جریان چشمه الکترون (رشته تنگستن) بر چگالی پلاسما بررسی گردید. با اعمال ولتاژ تخلیه الکتریکی ۵۷ ولت و میدان مغناطیسی حدود ۲۰۰ گاوس و عبور جریان ۱۸ آمپر از رشته کاتد، مقدار بیشینه ۱۳۰ میلی آمپر برای جریان پلاسما در فشار ۴-۱۰×۲/۱ میلی بار اندازه گیری شد.

کلیدواژه ها:

سی اس تی ، باریکه ی پوزیترون کند ، شبیه سازی ، سیستم انتقال مغناطیسی خم