شبیه سازی تاثیر دمای زیرلایه به کمک مدل منطقه ای ساختاری برای رشد نانوساختارهای نیکل به روش مونت کارلو جنبشی

در این مقاله مرحلههستهبندی و رشد حجمینانو ساختارهای نیکل لایه نشانی شده تحت زاویه مایل ˚۷۵- ˚۸۵ با استفاده از روش مونت کارلو جنبشی شبیه سازی شد. تاثیر دمای زیرلایه بر شکل، اندازه و نحوه توزیع ستون ها نیز بررسی گردید. با تعریف سد پتانسیل موضعی و انرژی حرارتی تصادفی، رشد نانوساختارهای نیکل در سه منطقه دمایی که در محدوده ۴۵/۰T/Tm< (که T دمای زیرلایه و   دمای ذوب ماده) قرار می گیرند، مورد بررسی قرار گرفت. نتائج امان نشان داد که در محدوده دمایی ۳/۰T/Tm< ساختارها بصورت ستونی نازک و سر ستون ها گنبدی شکل رشد می کنند. با افزایش دما، هنگامی که در محدوده۴۵/۰T/Tm< > ۳/۰ قرار دارد، ساختار ها بصورت ستونی ضخیم و سر ستون ها صاف رشد می کنند. هنگامی که زیرلایه در دمای بالاتری قرار می گیرد، یعنی محدوده دمایی ۴۵/۰T/Tm<، ساختارها بصورت متراکم و چگال رشد می کنند. نتایج امان در هر سه منطقه دمایی با مدل منطقه ای ساختاری توافق دارد.

کلیدواژه ها:

لایه نشانی مایل ، رشد نانوساختارها ، مدل منطقه ای ساختاری ، دمای زیر لایه ، اثر سایه اندازی ، پخش سطحی