ساخت و بررسی خواص نانوساختاری لایه های نازک ازاید مس

لایه های نازک مس بر روی زیرلایه شیشه به روش تبخیر با تفنگ الکترونی در شرایط خلاء در زاویه 40 درجه انباشت شده اند، وسپس در دماهای مختلف تحت شار نیتروژن، بازپخت شده اند. اثر شار نیتروژن در دما های مختلف بازپخت بر روی ساختار و مورفولوژی سطح لایه های نازک مس توسط آنالیزهای پراش اشعه ایکسXRD)میکروسکوپ نیروی اتمیAFM) موردبررسی قرار گرفته است. نتایج آنالیز پراش پرتوxحاکی از تشکیل فازهای ازاید مس است، اندازه بلورک ها، اندازه دانه ها و زبری محاسبه شده و نشان می دهد با افزایش دمای بازپخت ، این کمیت ها افزایش می یابند

کلیدواژه ها:

لایه نازک ، ازاید مس ، بازپخت