Optical imaging and magnetic field simulation of a DC circular planar magnetron sputtering discharge
نسخه کامل این مقاله ارائه نشده است و در دسترس نمی باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
تاریخ نمایه سازی: 22 مهر 1402
چکیده مقاله Optical imaging and magnetic field simulation of a DC circular planar magnetron sputtering discharge
کلیدواژه های Optical imaging and magnetic field simulation of a DC circular planar magnetron sputtering discharge:
نویسندگان مقاله Optical imaging and magnetic field simulation of a DC circular planar magnetron sputtering discharge
Laser and Plasma Research Institute, Shahid Beheshti University, Tehran, Iran
Laser and Plasma Research Institute, Shahid Beheshti University, Tehran, Iran
School of Physics, Iran University of Science and Technology, Tehran, Iran