سیویلیکا را در شبکه های اجتماعی دنبال نمایید.

Optical imaging and magnetic field simulation of a DC circular planar magnetron sputtering discharge

سال انتشار: 1402
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 76
این مقاله فقط به صورت چکیده توسط دبیرخانه ارسال شده است و فایل کامل قابل دریافت نیست. برای یافتن مقالات دارای فایل کامل، از بخش [جستجوی مقالات فارسی] اقدام فرمایید.

نسخه کامل این مقاله ارائه نشده است و در دسترس نمی باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

JR_JTAP-17-4_003

تاریخ نمایه سازی: 22 مهر 1402

چکیده مقاله Optical imaging and magnetic field simulation of a DC circular planar magnetron sputtering discharge

In this paper, the optical images of glow discharge plasma and the finite element method simulation of the magnetic field strength in a balanced and two types of unbalanced DC circular planar magnetron sputtering sources are presented. The investigation showed that wherever the magnetic field strength is stronger, the intensity of light and the ionization are greater and consequently, the deposition is higher. The comparison of recorded optical images with the finite element simulation results of the magnetic field strength indicated the correlation between regions of high magnetic field strength and high light emission.

کلیدواژه های Optical imaging and magnetic field simulation of a DC circular planar magnetron sputtering discharge:

نویسندگان مقاله Optical imaging and magnetic field simulation of a DC circular planar magnetron sputtering discharge

Ahmad Rastkar

Laser and Plasma Research Institute, Shahid Beheshti University, Tehran, Iran

Ali Reza Niknam

Laser and Plasma Research Institute, Shahid Beheshti University, Tehran, Iran

Mostafa Salahshoor

School of Physics, Iran University of Science and Technology, Tehran, Iran