بررسی کاربردهای RF MEMS و پارامترهای موثر در ساخت آنها

پیشرفت تکنولوژی های ساخت، کلید موفقیت در تولید قطعات RF MEMS جدید است. دو دیدگاه در ساخت قطعات MEMS بر پایه سیلیکون وجود دارد: میکروماشین کاری حجم و میکروماشین کاری سطح. هر دوی این دیدگاه ها می توانند در زمینه های مختلفی در سیستم های میکروویو و موج میلی متری استفاده شوند. جدا از تکنولوژی های بر پایه سیلیکون، MEMSهای بر پایه پلیمر نیز پیشنهاد میشوند. یکی از استفاده های جدید تکنولوژی MEMS در کاربردهای میکروویو، در حوزه محرک های میکروماشین کاری شده سطحی برای درک سوئیچ های میکروویو با خاصیت خطی بالا، مصرف توان آماده به کار پایین و تلفات جاسازی کم است. استفاده دیگر از تکنولوژی MEMS در کاربردهای RF در حوزه میکرو سلف ها و خازن های متغیر، به عنوان جایگزینی برای دیودهای ورکتور به کار رفته برای تنظیم مدارات است. مزیت مهم خازن های میکروماشین کاری شده، سازگاری آنها با مدارات دیگر است که اجازه ساخت سیستم های تمام مجتمع شده را میدهد. تحقیق و توسعه درمورد قطعات RF MEMS سالهاست که در حال انجام است. قطعات زیادی در حجم کم در کاربردهای تجاری و نظامی به صورت غیر رایج استفاده میشود، اما امروزه این قطعات در حجم بالایی تولید میشوند. حال و آینده قطعات RF MEMS قابل رقابت با خیلی از ابزارات مرسوم از نظر حجمی، وزنی، قیمتی و کارایی است. بزرگترین بازار بالقوه مربوط به بازار تلفن های همراه، با فروش صدها میلیون دستگاه در سال است. بازار دیگر قطعات پرتابل الکترونیکی، که در آن ملاحظات قبلی در نظر گرفته شده است، دستگاه های تلفن بی سیم خانگی، شبکه های بیسیم کامپیوتر، رادیوها و گیرنده های سیستم موقعیت یاب جهانی (GPS) هستند. ماهواره ها، هدایتگر موشک، رادار نظامی و تجهیزات آزمایشگاهی البته با حجم پایین تر فروش بالقوه از اهمیت بازاری دیگری برخوردارند .

کلیدواژه ها:

سیستم های میکرو الکترمکانیکی ، میکروماشین کاری حجمی ، میکروماشین کاری سطحی ، مدارات مجتمع