ساخت لایه نازک تانتالیوم و بررسی ویژگی های ساختاری و اپتیکی آن

با توجه به کاربردهای اپتیکی تانتالیوم و اکسید آن در صنعت، در این مقاله لایه نازک تانتالیوم بر بستر سیلیکونی به روش کندوپاش مگنترون جریان مستقیم در ضخامت های متفاوت لایه نشانی گردید. همچنین با استفاده از دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی، الگوی پراش پرتو ایکس و طیف سنجی ماورای بنفش مرئی ویژگی های ساختار مورد ارزیابی قرار گرفت. نتایج نشان میدهد که با افزایش ضخامت لایه نازک طیف بازتاب نور فرودی بر آن با افزایش طول موج به سمت طیف نور مادون قرمز افزایش می یابد، بنابراین می توان از آن برای ساخت فیلترهای اپتیکی باتابنده یا آینه های کامل استفاده کرد.

کلیدواژه ها:

لایه نازک ، تانتالیوم ، فیلتر اپتیکی ، آینه کامل.