مشخصه یابی پلاسما و بررسی ریخت شناسی لایه های نازک زیرکونیوم رسوب شده توسط کندوپاش مگنترون DC در توان های مختلف
محل انتشار: مجله پژوهش فیزیک ایران، دوره: 22، شماره: 3
سال انتشار: 1401
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 206
فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_PSI-22-3_007
تاریخ نمایه سازی: 2 خرداد 1402
چکیده مقاله:
خواص الکتریکی لایه های نازک زیرکونیوم با استفاده از تکنیک پروب لنگمایر مورد مطالعه قرار گرفته است. انرژی الکترون، چگالی الکترونی و چگالی یونی نمونه ها در فشار کم و توان متغیر (۶۰ تا ۱۶۰ وات) اندازه گیری شد. نتایج ما نشان می دهد که انرژی الکترون ها با افزایش توان کاهش می یابد، در حالی که چگالی الکترون ها و یون ها افزایش یافته است. تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) برای تعیین ضخامت و همچنین ریخت شناسی سطح لایه های نازک زیرکونیوم استفاده شد، که در آن ضخامت با افزایش توان مولد پلاسمای DC افزایش یافت. روش تجزیه و تحلیل طیف سنجی پرتو ایکس پراکنده انرژی (EDX) برای تعیین اطلاعاتی در مورد ترکیب فیلم ها استفاده شد. خصوصیات پلاسما و کیفیت لایه های تولید شده (زبری و ضخامت) به ما اجازه می دهد از این لایه ها در چندین کاربرد بالقوه استفاده کنیم.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
سامی الشیخ سالو
دانشکده فیزیک، کمیسیون انرژی اتمی سوریه، دمشق، سوریه
بسام عبد الله
دانشکده فیزیک، کمیسیون انرژی اتمی سوریه، دمشق، سوریه
ولاء زیتون
دانشکده فیزیک، کمیسیون انرژی اتمی سوریه، دمشق، سوریه
کرم ماسالوب
دانشکده فیزیک، کمیسیون انرژی اتمی سوریه، دمشق، سوریه
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :