شبیه سازی ساختار با چاله سیلیسیم برای افزاره اثر میدان فلز نیمه رسانا

برای ارائه و پیشنهاد ساختار نوینی از مسفتها که بتوان در آن پارامترهای افزاره را نسبت به ساختار پایه بهبود بخشید روش های متفاوتی وجود دارد. در این مقاله ایجاد یک چاله در ساختار این افزاره پیشنهاد شده است. در اینجا ما برای بهبود پارامترهای افزاره ساختار پایه را تغییر داده ایم و با استفاده از نرم افزار سیلواکو شبیه سازی را انجام داده و نتایج را بررسی کرده ایم برای بهبود پارامترها در اینجا از یک ناحیه مسدود کننده در ناحیه کانال زیر لبه ،گیت بین گیت و درین استفاده کرده ایم وجود این ناحیه با توجه به نتایج شبیه سازیها باعث میشود ولتاژ شکست بهبود داشته باشد ولی سبب کاهش میزان جریان درین میشود که نسبت به ساختار پایه کاهش قابل توجه ای داشته است در نتیجه ما برای جبران این کاهش جریان از یک ناحیه فرورفتگی سیلیسیم در زیر ناحیه کانال و در قسمت لایه مدفون در لبه ناحیه کانال استفاده ی کنیم که از قسمت سورس شروع و تقریبا تا زیر گیت امتداد دارد و میزان دقیق عمق آن هم بعد از شبیه سازی های متعدد به دست می آید

کلیدواژه ها:

چاله سیلیسیم ، مهندسی کانال ، ولتاژ شکست ، معادله بولتزمن