تاثیر لایه نشانی بر روی میکروآینه ها با در نظرگرفتن خاصیت الکترواستاتیکی
سال انتشار: 1401
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 313
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
EESCONF08_011
تاریخ نمایه سازی: 8 آذر 1401
چکیده مقاله:
میکروآینه های دیجیتال،فناوری پرکاربرد در زمینه های مختلف پژوهشی و علمی از پزشکی تا علوم مهندسی دارد. ما دراین پژوهش به منظور بررسی انعطاف میکروآینه های دیجیتالی چندین ولتاژ متفاوت را مورد بررسی قرار داده ایم.دراین پژوهش با استفاده از شبیه سازی با نرم افزار کامسول واعمال ولتاژهای مختلف ،میزان جابه جایی در راستای محور Z در زمانی که اکسید سیلیکون بر روی الکترود هایی که ولتاژ به آن اعمال میشود بیشتر از حالتی است که بدون الیه نشانی الکترود میکرو آینه منحرف میشود میباشد
کلیدواژه ها:
نویسندگان