مطالعه و بررسی میکروپمپ هایمغناطیسی براساس سیستم هایمیکروالکترومکانیکی(ممز)

سیستمهای میکروالکترومکانیکی(ممز)، تکنولوژی جدیدی هستند که در تعریفی عام می توان اینگونه تعریفشان کرد که ابزارها و ساختارهای الکترونیکی-مکانیکی هستند که با کمک تکنولوژی های جدید، در مقیاس میکرو ساخته می شوند. ابعاد این قطعات طیف گسترده ای را در بر می گیرد، از ابعادی کوچکتر از یک میکرومتر که قابل رویت با چشم نیستند، تا ابعاد میلیمتر و سانتیمتر. همچنین نوع این سیستمها میتواند در حالتی ساده، ابزاری بدون قطعه متحرک، و یا در حالت های پیچیده، دارای اجزای متحرک متعددی باشد که با سیستمهای کنترل الکترونیکی هدایت می شوند. در سالهای اخیر تکنولوژی و فناوری میکروپمپها اهمیت قابل توجهی جلب نموده است ودر یک حیطه پژوهشی برای کاربردهای میکروسیال می باشد. نیروی محرکه به سمت توسعه فناوری میکروپمپ ها، شامل یکپارچگی سیستم های پمپاژکننده به درون دستگاه های میکروسیال برای رفع نیاز به تحویل دقیق سیالات می باشد. در این مقاله مروری، تحقیق و توسعه در زمینه فناوری میکروپمپها براساس فناوری ممز مورد بررسی قرارگرفته است. همچنین مهمترین کاربردهای رایج و تاریخچه زمانی میکروپمپهای مغناطیسی معرفی شده است.

کلیدواژه ها:

سیستمهای میکروالکترومکانیکی ، ممز ، میکروپمپ ، میکروفلوئیدیک ، میکروسیال.