ساخت حسگر فشار گسیل میدانی با استفاده از آرایه نانولولههای کربنی عمودی برروی بستر سیلیسیومی ریزماشینکاری شده
محل انتشار: نوزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران
سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 881
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE19_470
تاریخ نمایه سازی: 14 مرداد 1391
چکیده مقاله:
از نانولولههای کربنی به عنوان کاتد سرد در ساخت حسگر فشار گاز استفاده شده است. نانولولهها به صورت عمودی به روشPECVD روی زیر لایه سیلیسیومی ریزماشینکاری شده رشد داده شدهاند. حسگر فشار به عنوان آند قابل انعطاف در مقابل فشار اعمالی از غشاء سیلیسیومی انعطافپذیری که به کمک زدایش زیرلایه بهدست آمده استفاده میکند. غشاء با تغییر فشار ورودی خم میشود و با تغییر فاصله آند - کاتد جریان گسیلی تغییر میکند. رشد نانولولهها در الگوهای ریزماشینکاری شده با استفاده از دستگاهSEMبررسی شده است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
نرگس دوستانی دزفولی
دانشکده مهندسی برق دانشگاه تربیت مدرس
سارا درباری
آزمایشگاه لایه نازک و نانوالکترونیک، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
شمس الدین مهاجرزاده
آزمایشگاه لایه نازک و نانوالکترونیک، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
محمدکاظم مروج فرشی
دانشکده مهندسی برق دانشگاه تربیت مدرس
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :