ساخت حسگر فشار گسیل میدانی با استفاده از آرایه نانولولههای کربنی عمودی برروی بستر سیلیسیومی ریزماشینکاری شده

از نانولولههای کربنی به عنوان کاتد سرد در ساخت حسگر فشار گاز استفاده شده است. نانولولهها به صورت عمودی به روشPECVD روی زیر لایه سیلیسیومی ریزماشینکاری شده رشد داده شدهاند. حسگر فشار به عنوان آند قابل انعطاف در مقابل فشار اعمالی از غشاء سیلیسیومی انعطافپذیری که به کمک زدایش زیرلایه بهدست آمده استفاده میکند. غشاء با تغییر فشار ورودی خم میشود و با تغییر فاصله آند - کاتد جریان گسیلی تغییر میکند. رشد نانولولهها در الگوهای ریزماشینکاری شده با استفاده از دستگاهSEMبررسی شده است.

کلیدواژه های ساخت حسگر فشار گسیل میدانی با استفاده از آرایه نانولولههای کربنی عمودی برروی بستر سیلیسیومی ریزماشینکاری شده:

حسگر فشار ، گسیل میدانی ، نانولوله کربنی

نویسندگان مقاله ساخت حسگر فشار گسیل میدانی با استفاده از آرایه نانولولههای کربنی عمودی برروی بستر سیلیسیومی ریزماشینکاری شده

نرگس دوستانی دزفولی

دانشکده مهندسی برق دانشگاه تربیت مدرس

سارا درباری

آزمایشگاه لایه نازک و نانوالکترونیک، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

شمس الدین مهاجرزاده

آزمایشگاه لایه نازک و نانوالکترونیک، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

محمدکاظم مروج فرشی

دانشکده مهندسی برق دانشگاه تربیت مدرس

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :

_ C. Klinke, F. Conus I.Arfaoui, T. Stockl nanotubes films ...

بالایی می‌رسد و اندازه جریان نیز از مقدار پیش‌بینی شده ...

N. Badi, A.M. Nair, A. Bensaoula "Field emission pressure sensors ...

_ _ _ _ _ B.Khadem Hosseinieh, ...

M icroelectromec, Syst.Vol. 16, 2007, pp. 912-918. ...

Physics Letters, No. 398, 2004, pp. 87-92 ...

Physical Review Letters, Vol. 88, No. 10, 2002. ...

نمایش کامل مراجع

صدور گواهی نمایه سازی
من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

https://civilica.com/doc/154043

شناسه ملی سند علمی:

ICEE19_470

تاریخ نمایه سازی: 14 مرداد 1391

نحوه استناد به مقاله:

در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:

دوستانی دزفولی، نرگس و درباری، سارا و مهاجرزاده، شمس الدین و مروج فرشی، محمدکاظم،1390،ساخت حسگر فشار گسیل میدانی با استفاده از آرایه نانولولههای کربنی عمودی برروی بستر سیلیسیومی ریزماشینکاری شده،نوزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران،تهران،https://civilica.com/doc/154043

در داخل متن نیز هر جا که به عبارت و یا دستاوردی از این مقاله اشاره شود پس از ذکر مطلب، در داخل پارانتز، مشخصات زیر نوشته می شود.
برای بار اول: (1390، دوستانی دزفولی، نرگس؛ سارا درباری و شمس الدین مهاجرزاده و محمدکاظم مروج فرشی)
برای بار دوم به بعد: (1390، دوستانی دزفولی؛ درباری و مهاجرزاده و مروج فرشی)
برای آشنایی کامل با نحوه مرجع نویسی لطفا بخش راهنمای سیویلیکا (مرجع دهی) را ملاحظه نمایید.

علم سنجی و رتبه بندی مقاله

مشخصات مرکز تولید کننده این مقاله به صورت زیر است:

رتبه علمی دانشگاه تربیت مدرس

نوع مرکز: دانشگاه دولتی

تعداد مقالات: 49,760

در بخش علم سنجی پایگاه سیویلیکا می توانید رتبه بندی علمی مراکز دانشگاهی و پژوهشی کشور را بر اساس آمار مقالات نمایه شده مشاهده نمایید.

مقالات مرتبط جدید

مقاله فارسی "ساخت حسگر فشار گسیل میدانی با استفاده از آرایه نانولولههای کربنی عمودی برروی بستر سیلیسیومی ریزماشینکاری شده" توسط نرگس دوستانی دزفولی، دانشکده مهندسی برق دانشگاه تربیت مدرس؛ سارا درباری، آزمایشگاه لایه نازک و نانوالکترونیک، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر ؛ شمس الدین مهاجرزاده، آزمایشگاه لایه نازک و نانوالکترونیک، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر ؛ محمدکاظم مروج فرشی، دانشکده مهندسی برق دانشگاه تربیت مدرس نوشته شده و در سال 1390 پس از تایید کمیته علمی نوزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران پذیرفته شده است. کلمات کلیدی استفاده شده در این مقاله حسگر فشار، گسیل میدانی، نانولوله کربنی هستند. این مقاله در تاریخ 14 مرداد 1391 توسط سیویلیکا نمایه سازی و منتشر شده است و تاکنون 895 بار صفحه این مقاله مشاهده شده است. در چکیده این مقاله اشاره شده است که از نانولولههای کربنی به عنوان کاتد سرد در ساخت حسگر فشار گاز استفاده شده است. نانولولهها به صورت عمودی به روشPECVD روی زیر لایه سیلیسیومی ریزماشینکاری شده رشد داده شدهاند. حسگر فشار به عنوان آند قابل انعطاف در مقابل فشار اعمالی از غشاء سیلیسیومی انعطافپذیری که به کمک زدایش زیرلایه بهدست آمده استفاده میکند. غشاء با تغییر فشار ورودی خم ... . برای دانلود فایل کامل مقاله ساخت حسگر فشار گسیل میدانی با استفاده از آرایه نانولولههای کربنی عمودی برروی بستر سیلیسیومی ریزماشینکاری شده با 5 صفحه به فرمت PDF، میتوانید از طریق بخش "دانلود فایل کامل" اقدام نمایید.