طراحی و شبیه سازی مدار قرائت خازنهای کوچک در سنسورهای خازنی MEMS
محل انتشار: نوزدهمین کنفرانس مهندسی برق ایران
سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,961
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE19_366
تاریخ نمایه سازی: 14 مرداد 1391
چکیده مقاله:
در این مقاله، مدار مناسب جهت خواندن خازنهای کوچک در سنسورهای خازنی MEMS طراحی و شبیه سازی شده است. جهت کاهش نویز و آفست از ترکیب دو مدارCHS و CDS استفاده شده که در آشکار سازی تغییرات بسیار کوچک خازن در حد چند فمتو فاراد و یا کمتر در سنسور خازنی MEMSبهترین نتیجه را داشتهاند. در شبیه سازیهای انجام شده، روشCHSدر مدارهای پیوسته زمان و روشهایCDS و ترکیبی درمدارهای سوئیچ خازنی به کار گرفته شدهاند. سیگنال ورودی مدارCDSو ترکیبی، یک سیگنالdcبرابر ولتاژ تغذیه ولی در مدارCHS سینوسی می-باشد. فرکانسCHSبرابرMHz1و فرکانس نمونه برداری در مدارCDSدو برابر فرکانسCHSیعنیMHz2است. شبیه سازیهای انجام شده با نرم افزارHSPICEنشان میدهند که روشCDSو ترکیبی نسبت به روشCHS نتایج بهتری دارند. توان مصرفی مدار ترکیبی برابر 553 میکرو وات می باشد. با توجه به شبیه سازیها، میزان تغییرات کمتر از 100 اتو فاراد تا حداکثر 600 پیکو فاراد توسط دو مدارCDS و ترکیبی به خوبی قابل اندازهگیری است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :