DESIGN AND FABRICATION OF A MICRO-TACTILE SENSOR
محل انتشار: یازدهمین کنفرانس مهندسی برق
سال انتشار: 1382
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 1,479
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE11_148
تاریخ نمایه سازی: 18 تیر 1391
چکیده مقاله:
The present day endoscopic graspers are designed to be tooth-like in order to grasp slippery tissue during Minimally Invasive Surgery (MIS). However they do not have any sensing device to provide the surgeons any tactile feedback. We propose a micromachined endoscopic tooth-like tactile sensor that can measure both static and dynamic applied pressure. In this paper we describe the design, fabrication of a micro-machined tactile sensor, which can be integrated, with the tip of the endoscopic grasper. The sensor consists of two parts; the first part is a 25-micron polyvinylidene fluoride (PVDF) film. The second part is made of a silicon substrate with cavities etched using anisotropic etching of silicon in TMAH. The bottoms of the cavities are covered with a layer of aluminum. The two parts then are bond to each other in such a way that the lower aluminum layer of PVDF is facing the bottom of the cavities forming a parallel plate capacitor. The static response is obtained by measuring the change in capacitance between the bottom electrode of the PVDF film and the electrode deposited on surface of the etched cavity under the membrane. The dynamic response of the device is determined by the output potential difference across the PVDF film. The sensor can also be integrated with a commercial endoscopic grasper.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
Nakka Purushotham Rao
Department of Mechanical & Industrial Engineering
Javad Dargahi
Department of Mechanical & Industrial Engineering
Mojtaba Kahrizi
Concordia University, Montreal, Quebec, CANADA, H۳G ۱M۸.Department of Electrical & Computer Engineering
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :