ورود
مقالات فارسیISIکنفرانسهاژورنالها

تاثیر دمای بازپخت برروی خصوصیات ساختاری لایه های اکسید تیتانیوم برروی زیرلایه های کوارتز

محل انتشار: اولین همایش نانومواد و نانوتکنولوژی
سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 871

فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:
https://civilica.com/doc/143144

شناسه ملی سند علمی:

NCNN01_123

تاریخ نمایه سازی: 17 اردیبهشت 1391

چکیده مقاله:

تیتانیوم به روش کندوپاش مغناطیسی DC برروی زیرلایه های سیلیکان و کوارتز انباشت شد نمونه ها در کوره تحت گاز اکسیژن با فلوی sccm/min100 و دردماهای 300، 500 ، 700 و 1000 درجه سانتی گراد به مدت یک ساعت قرارگرفت تاثیر دمای بازپخت برروی خواص ساختاری لایه های نازک TiO2 بوسیله آنالیز XRD مورفولوژی سطح توسط آنالیز AFM بررسی شد با افزایش دمای بازپخت و کریستالوگرافی سطح از حالت آمورف به سه حالت آناتاس روتایل و بروکیت تغییر نمود زبری سطح و اندازه بلورک ها نیز تغییر یافت.

کلیدواژه ها:

نویسندگان

تهمینه امیری

دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج دانشکده علوم

علیرضا هژبری
کیومرث یاسریان

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • D. Yoo, I.Kim, S.Kim, Ch.H.Hahn, Ch.Lee, S. Cho, "Effects of ...
  • Ch.ho.heo, S.B.Lee, J.H.Boo, "Deposition of TiO, thin films using RF ...
  • M. M. Hasan, A. S. M. A. Haseeb, R. Saidur, ...
  • M. Vishwas, S. K. Shrma, K. N. Rao, S. Mohan, ...
  • _ _ _ _ ad optical properts of ...
  • B _ S.Richards, J .E.Cotter, C.B .Hosnbergh, App .Phy s.Lett, ...
  • A R.ArmstrongG .ArmstrongJ .Canales _ , R.Garsia, P .G .Bruce, ...
  • I.fasaki, I. Hotvoy, A.Rehacova, J.Hotvoy, V.Rehacek, M.Kompitsas, F. Roubani -Ka ...
  • K. Khojeir, H. Savaloni, "Influence of annealing temperature ona no-structure ...
  • J. Domaradzki, D.Kaczmarek, L.Prociowe, A. Borkowska, D.Schmeisserd, G.Beuckert, "Micros tructture ...
  • A. Karuppasamy, A. Su brahmanyam, "Studies on the room temperature ...
  • H. Sun, C. Wang, S. Pang, X. Li, Y. Tao, ...
  • C. Yang, H. Fan, Y. Xi, J. Chen, Z. Li, ...
  • Q. Ye, P. Y. Liu, Z. F. Tang, L. Zhai, ...
  • _ J. H. Choi, _ _ of nanostructured titanium dioxide ...
  • C. J. Tavares, J. Vieira, L. Rebouta, G. Hungerford, P. ...
  • C. Euvananont, C. Junin, K. Inpor, P. Limthongkul, C. Thanachayanon ...
    • نمایش کامل مراجع