ایجاد و بررسی خواص پوشش DLC به روش PACVD در حضور میان لایه ی TiN

پوشش های کربن شبه الماس (DLC) خواص منحصر بفردی از قبیل سختی بالا، مقاومت به سایش و خوردگی، ضریب اصطکاک کم و دماهای رسوب پایین دارند. اصلی ترین مشکل پوشش های DLC چسبندگی ضعیف آنها به زیرلایه های فلزی است. به منظور افزایش چسبندگی پوشش DLC به زیرلایه های فولاد L ۶۱۳ و آلیاژ V -۴ Al -۳ Ti از میان لایه TiN استفاده شد. پوشش DLC و لایه میانی TiN روی زیرلایه های فولاد L ۶۱۳ و آلیاژ V -۴ Al -۳ Ti به روش رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PACVD) رسوب دهی شدند. به منظور بررسی ساختار و خواص مکانیکی پوشش های DLC از آزمون های طیف سنجی رامان، طیف سنجی تبدیل فوریه مادون قرمز (FT-IR) ، پراش اشعه ایکس زاویه کم (GIXRD) ، طیف سنجی پراش انرژی اشعه ایکس (EDS) ، میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) ، آزمون ریزسختی سنجی، چسبندگی و سایش استفاده شد. نتایج نشانداد پوشش DLC ایجاد شده در حضور لایه میانی TiN روی زیرلایه ی فولاد L ۶۱۳ با داشتن بیشینه سختی، کمینه ضریب اصطکاک و دارای چسبندگی بهتر نسبت به نمونه ی دیگر است.

کلیدواژه ها:

کربن شبه الماس DLC ، فولاد زنگ نزن ۶۱۳ ، آلیاژ V -۴ Al -۳ Ti ، رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما PACVD ، لایه میانی ، TiN