مروری بر متداول‌ترین روش‌های سنتز و فرآوری فیلم‌های نازک اکسید روی

در این پژوهش به بررسی متداول‌ترین روش‌های سنتز و فرآوری فیلم‌های نازک اکسید روی پرداخته شده است. فیلم‌های نازک اکسید روی به دلیل مقاومت پایین، خواص پیزوالکتریکی مناسب، شفافیت بالا در ناحیه مرئی و وجود جنبه‌های تزیینی، دارای کاربردهای وسیعی در ادوات نیمه رساناها، دستگاه‌های موج آکوستیکی و وسایل اپتیکی - آکوستیکی می‌باشند. درمجموع فیلم‌های نازک اکسید روی دارای ویژگی‌های اپتیکی و الکتریکی خوبی بوده و همچنین هزینه‌های ساخت پایینی دارند. روش‌های رسوب گذاری متفاوتی مانند کند و پاش، رسوب گذاری باریکه مولکولی، رسوب گذاری فاز بخار، تبخیر حرارتی، تبخیر واکنشی، رسوب گذاری بخار شیمیایی، اسپری پایرولیزر و فرآیند سل - ژل برای ساخت فیلم‌های نازک اکسید روی به کار می‌روند.  

کلیدواژه ها:

اکسید روی ، سنتز و فرآوری ، فیلم‌های نازک.