Preparation and Characterization of Molybdenum Trioxide Thin Films Grown by Two-Step Method: DC Sputtering and Plasma Oxidation
محل انتشار: مجله مواد دوستدار محیط، دوره: 4، شماره: 2
سال انتشار: 1399
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 200
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_JEFM-4-2_005
تاریخ نمایه سازی: 29 آذر 1399
چکیده مقاله:
Nanostructured molybdenum trioxide (MoO۳) films as environmental friendly materials can be used in various filed such as electrochemical energy storage devices, rechargeable batteries and gas sensors. In this work, nanostructured MoO۳ thin films were successfully grown on quartz substrates by two-step method. In the first step, molybdenum films were deposited on quartz substrates by DC magnetron sputtering technique. Then the plasma oxidation of molybdenum films was used to prepare molybdenum oxide. The effect of plasma oxidation power and thermal annealing on the structural, morphological and optical properties of the MoO۳ films were investigated by different analysis including XRD, AFM, RBS and spectrophotometry. XRD results indicated that the plasma powers effectively influenced the structure of films. The RBS analysis confirmed the presence of Mo and O elements. The AFM images showed that an increment of plasma power leads to decrease the roughness of films and annealing effectively changed the morphology of films. Furthermore, the optical transmittance decreases by increment of the plasma oxidation powers.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
Nouri Z
Department of Physics, Karaj Branch, Islamic Azad University, Karaj, Iran
Hojabri A
Advanced Materials Engineering Research Center, Karaj Branch, Islamic Azad University, Karaj, Iran
Hajakbari F
Advanced Materials Engineering Research Center, Karaj Branch, Islamic Azad University, Karaj, Iran
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :