لیتو گًرافی با آرایه میکروعدسی
- سال انتشار: 1389
- محل انتشار: هفدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و سومین کنفرانس مهندسی فوتونیک ایران
- کد COI اختصاصی: ICOPTICP17_101
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 986
نویسندگان
دانشگاه امیرکبیر پژوهشکده اپتیک و لیزر
دانشگاه اصفهان دانشکده فیزیک
چکیده
لیتوگرافی میکروعدسی یک روش لیتوگرافی است که هیچ محدودیتی روی ابعاد ماسک و مساحت ویفر ایجاد نمی کند جزئیات محاسبات ابیراهی ها و طراحی یک سیستم عدسی برای لیتوگرافی میکروعدسی دراین مقاله بحث شده است سیستم دارای سه ارایه میکروعدسی است ما این سیستم را با روشهای هندسی و مبتنی بر پراش شبیه سازی و بهینه سازی کرده ایم توان جداسازی سیستم با استفاده از سطوح اسفریک افزایش یافته است.کلیدواژه ها
لیتوگرافی، میکروعدسی، ردیابی پرتو، طراحی اپتیکمقالات مرتبط جدید
- بررسی خطای کنتورهای دیجیتال در اندازه گیری انرژی الکتریکی تحت شرایط اغتشاشات هارمونیکی
- عمرسنجی غیرمخرب روغن ترانسفورماتور از طریق امواج مایکروویو
- ارزیابی قابلیت اطمینان سیستم های قدرت در حضور مزارع بادی و برنامه های پاسخگویی بار
- کنترل بهینه فیلتر اکتیو در شبکه های توزیع بر مبنای آشکارسازی جریان راکتیو
- دسته بندی و تحلیل عوامل خطا بر اساس تکنیک خوشه بندی در شبکه توزیع برق
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.