Numerical Modeling of Non-equilibrium Plasma Discharge of Hydrogenated Silicon Nitride (SiH4/NH3/H2)
محل انتشار: ماهنامه بین المللی مهندسی، دوره: 33، شماره: 8
سال انتشار: 1399
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 259
فایل این مقاله در 10 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_IJE-33-8_001
تاریخ نمایه سازی: 4 شهریور 1399
چکیده مقاله:
In this work, we model a radiofrequency discharge of hydrogenated silicon nitride in a capacitive coupled plasma reactor using Maxwellian and non-Maxwellian electron energy distribution function. The purpose is to investigate whether there is a real advantage and a significant contribution using non-Maxwellian electron energy distribution function rather than Maxwellian one for determining the fundamental characteristics of a radiofrequency plasma discharge. The results show the evolution of the non-Maxwellian electron energy distribution function, the mobility and the diffusion coefficient required to determine the fundamental characteristics of the radiofrequency plasma discharge of a hydrogenated silicon nitride deposit at low pressure and low temperature, between the two electrodes of the capacitive coupled plasma reactor. By comparing these results using non-Maxwellian electron energy distribution function with those calculated using the Maxwellian one, we conclude that the use of non-Maxwellian electronic energy distribution function is more efficient for describing the evolution of a radiofrequency plasma discharge in a capacitive reactor, which will improve the quality of the deposition of thin films.
کلیدواژه ها:
Numerical modeling ، Non-equilibrium Electron Energy ، distribution function ، Radio Frequency Plasma Discharge Silicon ، Nitride Capacitive ، Coupled Plasma Reactor
نویسندگان
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :