مدلسازی و شبیه سازی عملکرد پمپ های خلا بسیار بالا به روش جریان اریفیسی و سرعت پمپاژ

در این تحقیق به بررسی شبیه سازی عملکرد پمپهای خلا بسیار بالا 1نظیر پمپهای یونی از دو روش جریان اریفیسی 2 و روش سرعت پمپاژبا استفاده از نرم افزار مولفلو و انسیس در جریان خلا بسیار بالاپرداخته شده است. ابتدا، پارامترهای اصلی و تاثیرگذار در محاسبه جریان در سیستم ست آپ تست پمپهای خلا بسیار بالا بررسی شد. از پارامترهای اصلی، قطر اریفیس در گازهای مختلف و مقدار آهنگ گازورودی در دو پمپ یونی با ظرفیت های 150 و 240 لیتر بر ثانیه برای گازهای نیتروژن و هیدروژن در نرم افزار مول فلو مدلسازی و شبیه سازی شده است. سپس شبیه سازی تنش حرارتی و کرنش در دمای 400 درجه سانتیگراد و خلا1e-12 mbar در محفظه با دهانه سایز DN100 در نرم افزار انسیس تحلیل شده است. در نهایت، شبیه سازی و تحلیلهای انجام شده، با استاندارد ISO21360-1 برای صحه گذاری نتایج مقایسه شده است؛ نتایج نشان داد بین یافته های به دست آمده ازشبیه سازی با استاندارد تطابق خوبی وجود دارد.

کلیدواژه ها:

نرم افزار مولفلو 3 ، پمپ های خلا بسیار بالا ، روش جریان اریفیسی ، پمپ های یونی.