ایجاد طرح های میکرونی روی نمونه های فلزی و غیرفلزی با استفاده از لیزر پالسی اگزایمر
- سال انتشار: 1388
- محل انتشار: شانزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
- کد COI اختصاصی: ICOPTICP16_348
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1142
نویسندگان
دانشگاه ولی عصر رفسنجان، گروه فیزیک
دانشگاه ولی عصر (عج) رفسنجان، گروه فیزیک
دانشگاه ولی عصر رفسنجان، گروه فیزیک
دانشگاه ولی عصر(عج) رفسنجان، گروه فیزیک
چکیده
در این مقاله باتابش نور لیزر اگزایمر پالسی، طرح هایی با ابعاد میکرونی برروی نمونه های فلزی و غیرفلزی ایجاد نموده ایم. مراحل انجام کار به سه بخش لایه نشانی، تولید ماسک و نوردهی نمونه تقسیم شده است. درابتدا به روش تبخیر حرارتی لایه ای از مس روی زیرلایه قرار گرفته است. سپس طرح مورد نظر در ابعاد میلی متری روی لایه مسی ایجاد شده است. در انتها با تصویر کردن طرح ماسک روی نمونه ، طرح های میکرونی روی نمونه های مختلف ایجاد شده است.کلیدواژه ها
لیزر اگزایمر، لایه نشانی، طرح های میکرونیمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.