تاثیر برخورد یون خنثی بر دز ذرات فرودی بر سطح کاتد در پلاسمای پالسی
- سال انتشار: 1395
- محل انتشار: چهارمین کنفرانس مهندسی و فیزیک پلاسما
- کد COI اختصاصی: PLASMA04_074
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 543
نویسندگان
دانشکده فیزیک دانشگاه صنعتی خواجه نصیر الدین طوسی
چکیده
با استفاده از مدل سیالی پلاسما و با در نظر گرفتن اثرات برخورد میان یونها و ذرات خنثای پلاسما، غلاف یک پلاسمای پالسی مدل سازی می شود. با در نظر گرفتن شیاری با مقطع مستطیل شکل روی کاتد، تاثیر برخورد یون-خشی بر مقدار و یکنواختی دز ذرات فرودی بر روی دیواره های شیار موجود بر روی کاتد مطالعه می شود. نتایج عددی حاصل از مدل دو بعدی ارایه شده نشان می دهد که با در نظر گرفتن برخوردهای یون-خشی، مقدار دز ذرات فرودی بر روی سطوح شیار کاهش می یابد. همچنین اثرات برخوردی باعث بدتر شدن یکنواختی دز ذرات روی سطح جانبی شیار می شود در حالیکه در فرودی بر روی کف شیار در حضور برخوردهای مذکور یکنواخت تر می شودکلیدواژه ها
مقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.