به کارگیری روش هم بستگی در اندازه گیری ضخامت لایه های نانومتری اپتیکی از روی تداخل نگاشت فیزو
- سال انتشار: 1388
- محل انتشار: شانزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
- کد COI اختصاصی: ICOPTICP16_278
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1989
نویسندگان
گروه فیزیک دانشگاه اصفهان، اصفهان
گروه فیزیک دانشگاه اصفهان، گروه پژوهشی اپتیک کوانتومی ساختمان فیزیک
گروه فیزیک دانشگاه اصفهان، گروه پژوهشی اپتیک کوانتومی ساختمان فیزیک
گروه فیزیک دانشگاه اصفهان،اصفهان
چکیده
لایه های اپتیکی نانومتری روی شیشه در خلا تهیه شد. ضخامت آنها به صورت بلادرنگ با بلور کوارتز پایشگری و کنترل می شود و جهت زینه بندی کردن دستگاه، ضخامت لایه ها به روش اپتیکی اندازه گیری شد. به این منظور، تداخل سنج فیزو برای ثبت فریزهای تداخلی ناشی از پله، به کار گرفته شد. سپس در این کار روش جدید و دقیق تر همبستگی، برای یافتن ضخامت لایه های نازک در ابعاد نانومتری معرفی و به کاررفت. ضخامت پله نشانده شده با دو روش میانگین گیری و همبستگی اندازه گیری و نتایج ثبت گردید. دقت بالاتر، کاهش نوفه و امکان ضخامت سنجی لایه های با ضخامت بیش از نیم طول موج، از مزیت های این روش است. همه نتایج در توافق بسیار خوبی با عدد اعلام شده توسط بلور کوارتز هستند.کلیدواژه ها
ضخامت سنجی، لایه نازک، روش همبستگیمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.