بررسی خواص ساختاری و فیزیکی فیلم های نیترید زیرکونیوم لایه نشانی شده بر روی( Si(100 به روش کندوپاش یونی
- سال انتشار: 1388
- محل انتشار: شانزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
- کد COI اختصاصی: ICOPTICP16_104
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1312
نویسندگان
مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران
پژوهشکده تحقیقات کشاورزی، پزشکی و صنعتی کرج
مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران، تهران
چکیده
در این کار تحقیقاتی فیلمهای نازک نیترید زیرکونیوم (ZrN) به روش کندوپاش یونی با نسبت های مختلف گاز نیتروژن برروی زیرلایه (100)Si لایه نشانی شده اند. نمونه ها توسط طیف سنج پس پراکندگی رادرفورد (RBS) صخامت سنجی شده و بوسیله آنالیز XRD ساختار سنجی شده و در نهایت به کمک طیف سنج نوری میزان و نحوه بازتابش نوری لایه های مختلف مورد بررسی قرار گرفته است. سپس نمونه ها در مجاورت هیدروژن و دمای 800C بازپخت شده و تغییرات بوجود آمده درنمونه ها بررسی شده است. با توجه به نمودارها تشکیل فاز (111)ZrN مشهود است و بعد از عملیات حرارتی شاهد تشکیل ZrH, ZrO2 نیز هستیم که باعث تغییر ساختار نمونه ها شده است.کلیدواژه ها
نیترید زیرکونیوم، لایه نشانی، طیف نوری، بازپختمقالات مرتبط جدید
- بررسی خطای کنتورهای دیجیتال در اندازه گیری انرژی الکتریکی تحت شرایط اغتشاشات هارمونیکی
- عمرسنجی غیرمخرب روغن ترانسفورماتور از طریق امواج مایکروویو
- ارزیابی قابلیت اطمینان سیستم های قدرت در حضور مزارع بادی و برنامه های پاسخگویی بار
- کنترل بهینه فیلتر اکتیو در شبکه های توزیع بر مبنای آشکارسازی جریان راکتیو
- دسته بندی و تحلیل عوامل خطا بر اساس تکنیک خوشه بندی در شبکه توزیع برق
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.