سنسورهای فشار خازنی MEMS : مروری بر توسعه اخیر و آینده ی آن
- سال انتشار: 1395
- محل انتشار: نخستین کنفرانس ملی تحقیقات بین رشته ای در مهندسی کامپیوتر، برق، مکانیک و مکاترونیک
- کد COI اختصاصی: IRCEM01_233
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 2521
نویسندگان
مرکز آموزش عالی فنی و مهندسی بوئین زهرا، گروه مهندسی برق و کامپیوتر، بوئین زهرا، قزوین، ایران
گروه مهندسی برق، دانشکده فنی و مهندسی، دانشگاه آزاد اسلامی، واحد تهران جنوب
چکیده
اخیراً، سنسور(حسگر) فشار خازنی MEMS به دلیل حساسیت بالا، مصرف برق کم، عدم تأثیرپذیری از دما،سازگاری مدار مجتمع و غیره، مزیت بیشتری را نسبت به سنسورفشار ۱ پیزورزیستیومیکروماشینی بدست آوردهاست. کاربرد سنسورفشار خازنی در حال گسترش است، از این رو، بازبینی مسیر توسعه فنی و آینده سنسورفشارخازنی میکروماشینی ضروری است. در این مقاله بر مرور انواع گوناگون سنسورفشار خازنی، مواد MEMS به کاررفته در ساخت آن، روشهایی که در ریزساخت سیلیکون و دیافراگم مواد پلیمری پذیرفته شده اند، فناوری هایبسته بندی و اتصال تأکید می شود. نتیجه انتخابی درباره حساسیت خازنی و اثر دما بر حساسیت خازنی نیز نشانداده می شود. در نهایت، درباره ساخت سنسورهوشمند بحث می شود. سنسورفشار خازنی MEMS ، مروری برسنسورفشار، CDPS ، ساخت ممز (MEMS) ، مواد MEMS ، سنسورفشار، MEMS (دستگاه میکروالکترومکانیکی) از موارد مورد بحث ما در این مقاله می باشند.کلیدواژه ها
مقالات مرتبط جدید
- مدلسازی و شبیه سازی جبران ساز سری سنکرون استاتیکی توزیع برای حل چالش های شبکه توزیع بر پایه الگوریتم بهینه سازی گرگ خاکستری
- تاثیر دما بر تنش زدایی فولاد در تمپرینگ عملیات حرارتی
- معماری ادراکی برای تعامل تیمی انسان و ربات
- شبیه سازی اثر تغییر بار بر خروجی مولد فشرده ساز شار دیسکی
- سیستم پرداخت الکترونیکی کارآمد برای تجارت الکترونیک
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.