بررسی خواص نوری لایه های نیترید سیلیکون (Si3N4) لایه نشانی شده به شیوه کندوپاش RF در محیط پلاسمای آرگن
- سال انتشار: 1385
- محل انتشار: سیزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
- کد COI اختصاصی: ICOPTICP13_029
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 2673
نویسندگان
آزمایشگا
آزمایشگاه تحقیقاتی لایه های نازک، دانشکده برق و کامپیوتر، دانشکده ف
پژوهشکده لیزر و اپتیک، سازمان انرژی اتمی
گروه فیزیک، دانشکده علوم، دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی
چکیده
لایه های نازک نیترید سیلیکون (Si3N4) بر روی زیرلایه های مولتی کریستال سیلیکون و شیشه نازک با استفاده از سیستم کندوپاش RF لایه نشانی شده اند. لایه نشانی در محیط گاز آرگن انجام شده و با تغییر توان لایه نشانی سعی شده است پوشش ضدبازتاب مناسبی برای سلولهای خورشیدی با زیرلایه مولتی کریستال سیلیکون حاصل گردد. با تغییر توان لایه نشانی، لایه هایی با خواص نوری متفاوت بدست می آید. از آنالیز UV/VIS/IR برای بررسی خواص نوری این لایه ها استفاده شده است. لایه های نیترید سیلیکونی که در محیط آرگن و با توان بین 350-100 وات لایه نشانی شده اند، درصد عبور نوری بیشتر از 92 % در توان بین 150-100 وات در طیف وسیع nm 300-1200 دارا میباشند. همچنین لایه هایی که با توان 150-100 وات لایه نشانی میشوند، دارای گاف انرژی در حدود 5eV میباشند.کلیدواژه ها
پلاسمای آرگن، توان کندوپاشRF ، درصد عبور نوری، مولتی کریستال سیلیکون، نیترید سیلیکونمقالات مرتبط جدید
- بررسی خطای کنتورهای دیجیتال در اندازه گیری انرژی الکتریکی تحت شرایط اغتشاشات هارمونیکی
- عمرسنجی غیرمخرب روغن ترانسفورماتور از طریق امواج مایکروویو
- ارزیابی قابلیت اطمینان سیستم های قدرت در حضور مزارع بادی و برنامه های پاسخگویی بار
- کنترل بهینه فیلتر اکتیو در شبکه های توزیع بر مبنای آشکارسازی جریان راکتیو
- دسته بندی و تحلیل عوامل خطا بر اساس تکنیک خوشه بندی در شبکه توزیع برق
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.