روشی مناسب برای فرایند نازک سازی و صیقلدهی ایندیم آنتیموناید با حداقل ناهمواری سطحی
- سال انتشار: 1394
- محل انتشار: چهارمین همایش ملی مهندسی اپتیک و لیزر ایران
- کد COI اختصاصی: NCOLE04_121
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 485
نویسندگان
کارشناسی ارشد دانشگاه تهران
کارشناسی دانشگاه شهید ستاری
چکیده
روشی مناسب برای نازکسازی و صیقلدهی نهایی ایندیم آنتیموناید با استفاده از محلول آلومینیم اکسید ارائه شده است. محلول با ساینده 1 میکرون با خاصیت عاری از انباشتگی از نظر نرخ حذف قابل مقایسه با محلول های معمولی باذرات بزرگتر از ده میکرون است ک برای نازک کاری نیم هادیها مورد استفاده قرار میگیرد.سطحی با حداقل آسیب سطحی و با ناهمواری خیلی کم با استفاده از این محلول و پد نرم حاصل میشود. نتایج آنالیز سطحی با استفاده از AFM نشان داده شده است.کلیدواژه ها
نازک سازی ، صیقل دهی ، ساینده ، آسیب سطحی ، نرخ حذف ،مقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.