اندازهگیری جابجایی میکروعملگرU شکل الکتروترمال با استفاده از میکروپیسوسنسور
- سال انتشار: 1390
- محل انتشار: سومین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید
- کد COI اختصاصی: NMEC03_077
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1064
نویسندگان
دانشگاه تهران
چکیده
سیستم های میکروالکترومکانیکی یا ممز ترکیبی از اجزای مکانیکی سنسورها عملگرها و قطعات الکترونیکی برروی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه های میکرونی می باشد ازجمله ادوات ممز میتوان به میکروگریپرها میکروموقعیت دهندها میکروکلمپ ها میکروسنسورها و ... اشاره نمود که میکروگریپرها درجابجایی و موقعیت دهی قطعات با مقیاس کوچک کاربرد بسیاری دارند میکروگریپر برای گیره بندی نیاز به تحریک دارد عملگرهای الکتروترمال با توجه به نحوه عملکرد و سادگیدراستفاده دارای کاربرد زیادی نسبت به عملگرهای الکترواستاتیک پیزوالکتریک آلیاژ حافظه دار و ... دارند عملگرهای برقی ـ حرارتی که با ساتفاده از میکروماشین کاری سطحی ساخته می شوند از خاصیت انبساط طولی برای حرکت سازه استفاده می کنند انبساط طولی ناشی از پدیده گرمایش ژول است که به دلیل عبورجریان از بازوهای عملگر ایجاد می شود.کلیدواژه ها
عملگرمیکروالکتروترمال، پیزوسنسورمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.