عملیات بازپخت روی ویژگی فیلم لایه نشانی شده اکسیدتیتانیوم به روشکندوپاش مگنترونی

سال انتشار: 1401
محل انتشار: هفتمین کنفرانس بین المللی پژوهش های کاربردی در علوم پایه، مهندسی و تکنولوژی
کد COI اختصاصی: CONFITC07_049
زبان مقاله: فارسی
تعداد مشاهده: 330

نویسندگان

فیزیک پلاسما، دانشکده علوم پایه گروه فیزیک، دانشگاه صنعتی سهند

چکیده

در این مطالعه، از دستگاه کندوپاش مگنترونی با فرکانس ۱۵ کیلوهرتز در دو مد جریان مستقیم و جریان پالسی برای لایهنشانی اکسید تیتانیوم TiO₂ با فشار بهینه ودر بازه ی زمانی ۹۰ دقیقه در دمای اتاق بر روی زیرلایه استیل ضدزنگ ۳۰۴ استفاده شده است. آند دستگاه کندوپاش مگنترونی از جنس تیتانیوم می باشد، مخلوط گازهای اکسیژن و آرگون O₂+Arبه عنوان گاز کاری برای لایه نشانی اکسید تیتانیوم مورد استفاده قرار گرفت. فیلمهای نازک لایه نشانی شده اکسید تیتانیومدارای ساختار بلوری می باشند به منظور انتقال فاز و بهبود ساختار کریستالی عملیات بازپخت، در کوره انجام گردید.نمونه های لایه نشانی شده به منظور بررسی ساختار توسط طیف پراش اشعه ایکس XRD، مورفولوژی سطح بامیکروسکوپ الکترونی روبشی SEM ، توپوگرافی سطح با میکروسکوپ نیروی اتمی AFM مورد بررسی قرار گرفتند.نتایج پراش اشعه ایکس رشد لایه های نازک اکسید تیتانیوم روی استیل ضد زنگ را نشان داد. نتایج میکروسکوپ الکترونینشان میدهد که افزایش زمان باعث نهشت مواد بیشتری در روی زیرلایه شده و بعد از عملیات بازپخت اندازه نانو ذراتافزایش یافته است. با توجه به تصاویر میکروسکوپ نیروی اتمی بعد از عملیات بازپخت با افزایش حرارت، اندازه دانه هاو زبری سطح افزایش می یابد

کلیدواژه ها

اسپاترینگ، لایه نازک، FESEM ، AFM

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.