اندازه گیری ضخامت چند لایه های اپتیکی نازک به کمک چیدمان میکروسکوپ هم کانونی نور سفید

  • سال انتشار: 1389
  • محل انتشار: سومین کنفرانس مهندسی فوتونیک ایران
  • کد COI اختصاصی: PHOTONICS03_086
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1363
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

ابراهیم بحرودی

تهران،اوین,دانشگاه شهید بهشتی ،پژوهشکده لیزر و پلاسما

علی موسویان

تهران،اوین,دانشگاه شهید بهشتی ،پژوهشکده لیزر و پلاسما

حمید لطیفی

تهران،اوین,دانشگاه شهید بهشتی ،پژوهشکده لیزر و پلاسما

چکیده

میکروسکوپ هم کانونی نورسفید در زیرشاخه میکروسکوپ های اپتیکی و غیرمخرب قرار میگیرد از این میکروسکوپ می توان در تجسم نگاری سهبعدی از سطوح استفاده کرد دراین مقاله به کاربرد این میکروسکوپ در اندازه گیری ضخامت لایه های نازک اپتیکی اشاره کرد بدین صورت که ابتداچیدمان میکروسکوپ را توسط نرم افزار طراحی اپتیکی Zemax شبیه سازی کرده و سپس چیدمان ازمایشگاهی آن تشکیل می شود در نهایت هم در شبیه سازی و هم در ازمایش ضخامت یک نمونه لایه اپتیکی درابعاد میکرون اندازه گرفته می شود.

کلیدواژه ها

میکروسکوپ همکانونی نورسفید، ضخامت سنجی، شبیه سازی

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.