اندازه گیری ناهمواری های نانویی سطوح با روش پراکندگی نور لیزر

  • سال انتشار: 1389
  • محل انتشار: هفدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و سومین کنفرانس مهندسی فوتونیک ایران
  • کد COI اختصاصی: ICOPTICP17_103
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1395
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

محمدرضا جعفرفرد

دانشکده فیزیک دانشگاه علم و صنعت ایران تهران

محمدحسین مهدیه

چکیده

دراین مقاله بطور تجربی ناهمواری بسیار ریز سطح یک نمونه استیل و یک نمونه سیلیکون به روش پراکندگی از سطح نمونه اندازه گیری شده است اندازه گیری با استفاده از تصویربرداری پرتولیزر که توسط سطح نمونه پراکنده شده است انجام گرفته است دراین روش از تغییرات شدت نور تابیده پس از بازتاب از سطح استفاده می شود با این روش ناصافی های از مرتبه چند نانومتر تا چند ده نانومتر قابل اندازه گیری می باشد نتایج تطبیق خوبی با نتایج اندازه گیری با روش Atomic Force Microscope (AFM) دارد.

کلیدواژه ها

اندازه گیری ، ناهمواری سطوح، پراکندگی نور لیزر

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.