Simulation and Derivation of deflection Equation for suspended diaphragm for MEMS Application Uaing Kirshohff-Love Theory
- سال انتشار: 1397
- محل انتشار: فصلنامه مهندسی برق و الکترونیک ایران، دوره: 15، شماره: 4
- کد COI اختصاصی: JR_JIAE-15-4_003
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 263
نویسندگان
M.S student, Faculty of New Sciences & Technologies, University of Tehran, Tehran, Iran
Assistant Professor, Advanced Micro and Nano Devices Lab., Faculty of New Sciences & Technologies,University of Tehran, Tehran, Iran
چکیده
In this paper, using theory of sheets, the deflection of suspended diaphragm has been obtained under uniform and circular loading. This type of diaphragm, unlike other diaphragms, has a central support which is recommended to be used in MEMS applications. The relationship between diaphragm deflection and static analysis of this diaphragm enjoys a great significance in investigating and understanding its behavior and calculating its other practical parameters both in dynamic and static fields. Here, using the thin sheet Kirchhoff-Law theory these issues are addressed. The results of analysis and simulation have been compared with each other, representing the 1% accuracy of the obtained statements, suggesting accuracy of the obtained results. The results show that the suspended diaphragm has greater deflection compared to simple flat diaphragm, which is considered important in sensors and micro electromechanical devicesکلیدواژه ها
Deflection equation, Kirchhoff-Love Theory, Suspended diaphragm, Uniform loading, Annular loading, Finite Element Simulationمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.