Impact Analysis of Variation in Geometrical Features on Intrinsic Characteristics of Capacitive Micro-machined Ultrasonic Transducers
- سال انتشار: 1397
- محل انتشار: ماهنامه بین المللی مهندسی، دوره: 31، شماره: 11
- کد COI اختصاصی: JR_IJE-31-11_006
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 279
نویسندگان
Amity School of Engineering & Technology, Amity University Uttar Pradesh, Noida, India
Amity School of Engineering & Technology, New Delhi, India
Amity School of Engineering & Technology, Amity University Uttar Pradesh, Noida, India
Thapar University, Patiala, Punjab, India
چکیده
Capacitive Micro-machined Ultrasonic Transducers (CMUTs) are the ultrasonic devices which produce better features in contrast to piezoelectric transducers. The intrinsic parameter of CMUT varies with the variation in geometrical dimension of the device. The cavity height and the radius of the CMUT with circular membrane is varied in the lumped parallel plate model for its impact on the parameters. In this paper, analytical model of circular CMUTs is developed and analyzed by using the parallel-plate capacitor equations. The impact of geometrical changes has been discussed with the parametric analysis of deflection, capacitance, pull in voltage and pressure. The results discussed here will be more helpful in deciding the miniaturization limit of the CMUT prior to fabrication.کلیدواژه ها
Geometrical Features, Intrinsic Characteristics, Membrane Materials, Pressure Intensity, Pull in Voltage, Ultrasonic Transducerاطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.