تولید پوشش متراکم،ضخیم و نانوساختار تانتالوم با ساختار کریستالی BCC بر روی زیرلایه فولادی به روش کندوپاش مغناطیسی و بررسی خواص و ساختار آن
- سال انتشار: 1393
- محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1393
- کد COI اختصاصی: IPC93_502
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 226
نویسندگان
پژوهشکده صنات،تهران،ایران
پژوهشکده صنات،تهران،ایران
پژوهشکده صنات،تهران،ایران
چکیده
کندوپاش یکی از روش های لایه نشانی فیزیکی به صورت اتمی است. در لایه نشانی تانتالوم به روش کندوپاش مغناطیسی پارامترهای لایه نشانی همچون توان لایه نشانی، فشار کاری ودمای زیرلایه تاثیر به سزایی در ساختار، خلوص و فاز پوشش دارند.تانتالوم دارای دو فاز آلفا و بتا می باشدکه فاز آلفای آن چقرمه و مقاوم در برابر شوک حرارتی، و فاز بتای آن ترد و با سختی بالا می باشد. نتیجه قابل توجه در این تحقیق، پوشش دهی تانتالوم نانوساختار با ضخامت 17میکرون و با ساختار کریستالیBCC در توان 40وات و دمای200°C بر روی زیرلایه فولادی می باشد.تمیزکاری نهایی زیرلایه به روش اسپاتر اچ در یکنواختی پوشش و ایجاد فاز مناسب موثر است.لازم به ذکر است که پوشش دهی تانتالوم با این ضخامت، برای اولین بار است که به روش کندوپاش مغناطیسی ایجاد می شود. یکنواختی مورفولوژی پوشش و درصد بالای تانتالوم توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی و آنالیز تر کیب شیمیایی مشاهده گردید. همچنین نشان داده شد که سختی لایه در مقایسه با زیرلایه فولادی افزایش قابل توجهی داشت.کلیدواژه ها
مقالات مرتبط جدید
- چالش های آموزش فیزیک و افت تحصیلی در شرایط کرونا
- نقش شایستگی های کلیدی درآموزش فیزیک - یاددهی و یاد گیری
- نظریات نورشناسی در یونان باستان
- ایجاد فایل های چند رسانه ای با استفاده از رمزینه برای فصل برهم کنش های موج فیزیک پایه دوازدهم
- طراحی و ساخت سامانه مکانیابی و سرعت سنجی اهداف متحرک با استفاده از شبکه حسگرهای داپلر
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.