طراحی، ساخت و بهینه سازی پارامترهای سنسور فشار مبتنی بر لایه نازکPZT

  • سال انتشار: 1389
  • محل انتشار: هجدهمین کنفرانس سالانه مهندسی مکانیک
  • کد COI اختصاصی: ISME18_421
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1496
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

وحید محمدی

هیات علمی گروه برق دانشگاه آزاد اسلامی واحد قشم

سعیده محمدی

بخش مکانیک دانشکده مهندسی دانشگاه فردوسی مشهد

چکیده

در این مقاله مراحل طراحی، شبیه سازی، ساخت و تست سنسور فشار مبتنی بر لایه نازک PZT نشان داده شده است در ابتدا دیافراگمی بصورت چندلایه متشکل از لایه های Pt/Ti/PZT/PT/Ti/SiO2 توسط نرم افزار اجزای محدود ANSYS FE طراحی و شبیه سازی شده است. سپس مشخصات دینامیکی دیافراگم چند لایه مورد بررسی قرار گرفته و برای عملکرد مطلوب ترسنسور، بهینه شده است

کلیدواژه ها

سنسور فشار، مواد پیزوالکتریک،PZT،تحلیل اجزای محدود، ریزماشینکاری

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.