تاثیر غلظت زیرلایه بر میزان چگالی الکترون ها در ناحیه ی کانال ترانزیستورهای UTBB تمام تخلیه سیلیکون روی عایق

سال انتشار: 1397
محل انتشار: سومین کنفرانس بین المللی مهندسی برق
کد COI اختصاصی: ICELE03_543
زبان مقاله: فارسی
تعداد مشاهده: 529

نویسندگان

دانشجوی کارشناسی ارشد، دانشکده فنی و مهندسی، دانشگاه شهرکرد، شهرکرد، ایران

دانشیار گروه مهندسی برق، دانشگاه شهرکرد، شهرکرد، ایران

چکیده

در این مقاله به بررسی ساختار ترانزیستورهای با بدنه و لایه اکسید مدفون شده بسیار نازک و تاثیر میزان غلظتزیرلایه بر جریان کانال آن می پردازیم. این افزاره با قرار گرفتن یک لایه اکسید در بستر ادوات بالک به دست می آید.زیرلایه و لایه عایق در این ادوات باعث ایجاد یک گیت دوم به عنوان گیت پشتی می شود. گیت پشتی همانند گیت جلوییمی تواند بر روی جریان کانال ترانزیستور تاثیر بگذارد، اما چون بستر بسیار وسیع است این تاثیر متفاوت خواهد بود. براییک میزان غلظت ثابت زیرلایه هر چه میزان ولتاژ گیت جلویی و گیت پشتی افزایش یابد میزان چگالی الکترون ها افزایشمییابد. با تغییر میزان غلظت زیرلایه از 1e15 تا 1e18 تاثیر این تغییر را در گیت جلویی و گیت پشتی بررسی کردیم و نتیجه گرفتیم که زمانی که غلظت زیرلایه افزایش می یابد میزان چگالی الکترون ها در ناحیه ی کانال ترانزیستور کاهش می یابد و این کاهش زمانی که ولتاژ گیت پشتی برابر 3- ولت است مشهودتر است.

کلیدواژه ها

غلظت زیرلایه، چگالی الکترون ها، تمام تخلیه، سیلیکون روی عایق، گیت پشتی، UTBB

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.