بررسی اثر دمای زیرلایه، نسبت گازها و میزان شار گازهای عملگر بر میزان زبری لایه ذاتی سیلیکن آمورف هیدروژنه لایه نشانی شده روی شیشه به وسیله سیستم PECVD
- سال انتشار: 1397
- محل انتشار: سومین کنفرانس بین المللی مهندسی برق
- کد COI اختصاصی: ICELE03_519
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 439
نویسندگان
دانشجو دکتری گروه برق، دانشکده الکترونیک، دانشگاه شهید چمران اهواز، خوزستان، ایران
دانشیار گروه برق، دانشگاه شهید چمران اهواز، خوزستان، ایران
دانشجوی دکتری گروه برق، دانشکده الکترونیک، دانشگاه شهید چمران اهواز، خوزستان، ایران
چکیده
در این نوشتار با استفاده از سیستم لایه نشانی PECVD و کنترل میزان سایلان در نسبت ثابت، میزان گازهیدروژن به سایلان، و دمای زیرلایه ، به بررسی اثرات این پارامترها بر میزان زبری لایه ذاتی سیلیکن آمورفهیدروژنه پرداخته شده است. جنس زیر لایه در مجموعه این آزمایشها از شیشه انتخاب شده است. برای اینمنظور 9 نمونه لایه نشانی شده در شرایط مختلف مورد ارزیابی قرار گرفته است. نسبت گاز هیدروژن بهسایلان در این نوشتار [RH = [H2]/ [SiH4 بین 20 تا 60، دما بین 50 تا 200 درجه سانتیگراد و میزان گاز سایلان با نسبت ثابت 10 از 5 تا 10 سانتیمتر مکعب بر دقیقه استاندارد در نظر گرفته شده است. در این بررسیاین نتیجه حاصل شد که در بازه مورد آزمایش با کاهش میزان گاز سایلان، نرخ لایه نشانی کاهش، و میزانزبری نیز کاهش می یابد. با افزایش میزان نسبت گاز هیدروژن به سایلان نیز شاهد کاهش نرخ لایه نشانی وکاهش میزان زبری خواهیم بود. با افزایش میزان دمای زیرلایه، شاهد کاهش میزان زبری لایه سیلیکن آمورفهیدروژنه خواهیم بود. بنابراین برای داشتن لایه ای آمورف با زبری کم در بازه مورد بررسی می بایست نسبتگازها افزایش، میزان گاز سایلان کاهش و میزان دمای زیرلایه افزایش یابد. در انتها با قرار دادن نسبت گازها به0125 میزان گاز سایلان به 0/88sccm و دمای زیرلایه 200 درجه سانتیگراد به لایه ای با زبری 669 پیکومتر دست یافته شده است.کلیدواژه ها
زبری، سیلیکن آمورف هیدروژنه، رسوب بخار شیمیایی، فیلم نازک، لایه نشانی، سلول خورشیدی، میکروسکوپ نیروی اتمی، AFM ،PECVDمقالات مرتبط جدید
- سیستم تشخیص نفوذ در محیط رایانش ابری با استفاده از یادگیری ویژ گی
- کاهش هزینه تعمیراتی ماشین های سنگین از طریق بهبود الگوریتم درخت تصمیم با الگوریتم های انتخاب ویژگی Information Gain ،Correlation و SVM
- پردازش کوانتومی تصاویر پزشکی و تشخیص لبه آن با استفاده از الگوریتم QHED
- بررسی و مقایسه روشهای تشخیص اکانت های جعلی در شبکه های اجتماعی
- مکان یابی و مقدار بهینه منابع تولید پراکنده به منظورکاهش تلفات و بهبود انحراف ولتاژ شبکه نامتعادل توزیع
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.