رشد و بررسی خواص نانو ساختاری اکسید تیتانیوم و نیتراید آلومینیوم

  • سال انتشار: 1387
  • محل انتشار: مجله پژوهش فیزیک ایران، دوره: 8، شماره: 1
  • کد COI اختصاصی: JR_PSI-8-1_001
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 457
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

علی بهاری

گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه مازندران، بابلسر

کبرا حسن زاده

گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه مازندران، بابلسر

مونا امیرصادقی

گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه مازندران، بابلسر

ماندانا رودباری

گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه مازندران، بابلسر

چکیده

اکسید تیتانیوم و نیترید آلومینیوم را در شرایط به ترتیب فشار بالا و فشار بسیار پایین بر زیر لایه سیلیکونی رشد داده ایم و با استفاده از تکنیکهایی نظیر تابش سینکروترونی ( AES ( Auger Electron Spectroscopy و SEM ( Scanning Electron Microscope به مطالعه ساختار آنها پرداختیم. بررسیهای به عمل آمده نشان می دهند که فیلم آمورف اکسید تیتانیوم و یا نیترید آلومینیوم بر زیر لایه سیلیکون شکل گرفته است که این ویژگی در کنار بالا بودن ثابت دی الکتریک آنها، می تواند از آنها یک گیت دی الکتریک مناسب به جای اکسید فرا نازک سیلیکون بسازد.

کلیدواژه ها

نیمرسانا، فیلم نازک، CMOS اکسید تیتانیوم و نیترید آلومینیوم، تکنیکهای سینکروترون، AES و SEM

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.