بررسی تاثیر نسبت زمان خاموشی به زمان روشنایی در ایجاد لایه های نازکTiN از طریق روش PACVD بر روی فولاد ابزار
- سال انتشار: 1387
- محل انتشار: نهمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی
- کد COI اختصاصی: ISSE09_069
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1377
نویسندگان
دانشجوی کارشناسی مهندسی مواد و متالورژی دانشگاه علم و صنعت ایران
استادیار سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران
دانشیار دانشکده مهندسی مواد و متالورژی، دانشگاه علم و صنعت ایران
کارشناس ارشد مهندسی مواد و متالورژی
چکیده
فرایند رسوب دهی شیمیایی بخار با استفاده از پلاسما (PACVD) امکان ایجاد لایه های نازک روی زیرلایه های فولادی با اشکال هندسی پیچیده را در زیر دمای برگشت فراهم میکند.در این تحقیق به منظور بهبود ساختار و خواص کاربردی یک نوع فولاد ابزار گرم کار از فزایند PACVD برای رسوب لایه های نازک نیترید تیتانیوم استفاده شد.بدین منظور گازهای Ar .n2 H2 و بخار TiCl4 با مجموع دبی ورودی 2nl/min و نسبت n2h2=./22 در دمای 540 درجه و فشار محفظه 5-3 mbar وارد محفظه پلاسما با جریان مستقیم پالسی شده و رسوب دهی به مدت 90 دقیقه صورت گرفت در این آزمایشات از 3 نسبت مختلف زمانهای روشنایی و خاموشی به عنوان پارامتر تاثیر گذار بر ایجاد لایه های Tin و خواص آنها استفاده گردید.به منظور بررسی لایه های ایجاد شده از آنالیز پراش اشعه ایکس میکروسکوپ الکترونیکی روبشی آنالیز میکروسکوپ نیروی اتمی و آزمایش نانو سختی سنجی استفاده شد.نتایج نشان داد که با افزایش نسبت Tpause/Tpause رنگ پوشش به سمت طلایی میل کرده ودر انتها لایه تشکیل شده از یک رشد همسانگرد سطح صاف تر ضخامت بیشتر اندازه دانه های کوچکتر و نانو سختی بالاتر برخوردار گردید.بیشترین رشد لایه ها در بیشترین Tpause صورت گرفته که با مبانی تئوری موجود تطابق دارد.کلیدواژه ها
رسوب دهی شیمیایی بخار با استفاده از پلاسما.نیترید تیتانیوم.لایه نازکمقالات مرتبط جدید
- سنتز نانو ماده اکسیدگرافن و بررسی تاثیر آن بر روی مقاومت شیمیایی رنگ آلکیدی
- پیش بینی نرخ های تولید چندفازی (نفت، گاز و آب) با استفاده از روش های یادگیری ماشین: مرور بر روش ها و کاربردها
- روشهای کنترل داده محور در مهندسی شیمی
- بررسی جداسازی گاز پروپیلن از پروپان در غشای ۶FDA-durene با استفاده از روش شبیه سازی مولکولی
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.