تهیه لایه های نازک نیترید مس Cu3N به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی dc و بررسی خواص آنها با تغییر توان تخلیه دستگاه

  • سال انتشار: 1388
  • محل انتشار: شانزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
  • کد COI اختصاصی: ICOPTICP16_050
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 3972
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

بیان کریمی

گروه حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز، بلوار ۲۹ بهم

حسن بیدادی

گروه حالت جامد و الکترونیک، دانشکده فیزیک، دانشگاه تبریز، بلوار ۲۹ بهم

فرامرز هادیان

چکیده

دراین کار تجربی لایه های نازک نیترید مس به روش کندوپاش مگنترونی واکنشی dc برروی زیرلایه های شیشه ای تحت توانهای تخلیه الکتریکی متفاوت و دمای ثابت زیرلایه نهشته شده اند. در این جا وابستگی چگالی، مقاومت ویژه الکتریکی و گاف اپتیکی فیلمها به توان تخلیه نشان داده شده است و علل تغییرات مشاهده شده مورد بحث قرار گرفته است.

کلیدواژه ها

فیلمهای نازک نیترید مس، کندوپاش مگنترونی واکنشی، توان تخلیه، گاف اپتیکی

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.