اندازه گیری نمایه هندسی سطح و تعیین نوفه فاز بازسازی شده با استفاده از تداخل سنجی میراو

  • سال انتشار: 1388
  • محل انتشار: شانزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
  • کد COI اختصاصی: ICOPTICP16_048
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1222
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

جعفر مصطفوی امجد

مرکز تحصیلات تکمیلی در علوم پایه زنجان

حمیدرضا خالصی فرد

مرکز تحصیلات تکمیلی در علوم پایه زنجان

چکیده

در این مقاله یک نمونه از نمایه سنجهای نوری غیر تماسی توصیف شده است. این نمایه سنج نوری برپایه تداخل سنجی میکروسکوپی بازتابی، با بکارگیری تداخل سنج میراو ساخته و برای اندازه گیری نمایه هندسی سطوح در ابعاد چند صد نانومتری بکار برده شد. ارتفاع دیواره نانومتری با دقت (5%) 20nm اندازه گیری و شکل سه بعدی ان با روش انتقال فازی سه پله ای بازسازی شد. روش واریانس دو بعدی برای نوفه یابی فاز بازسازی شده ابداء و روشی بهینه نسبت به روش گرادیان فاز، شناخته شد.

کلیدواژه ها

بازسازی فاز، تداخل سنج میکروسکوپی، انتقال فازی، نوفه یابی فازی

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.