طراحی و تحلیل سنسور فشار جمجمه میکروالکترو مکانیکی حساسیت بالا با استفاده از پیزورزیستیو

  • سال انتشار: 1396
  • محل انتشار: دوازدهمین سمپوزیوم پیشرفت های علوم و تکنولوژی همایش ملی سرزمین پایدار، پژوهش های نوین در مهندسی برق و پزشکی
  • کد COI اختصاصی: ELECTRICA04_004
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 458
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

فایزه ایمانی

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

بهرام عزیز الله گنجی

استاد دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل، دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

رمضانعلی جعفری تلوکلای

چکیده

در این مقاله ، سنسور فشار داخل جمجمه پیزورزیستیو میکروالکترومکانیکی (MEMS (با هدف افزایش حساسیت ،طراحی و شبیه سازی شده است. طراحی این سنسور برای رنج فشار (MPa 03.0-0 (mmhg 225-0 است.در طراحی سنسور ، جنس و ساختار واندازه پیزورزیستورها بررسی شده است. بر اساس نتایج شبیه سازی و حفظ خطی بودن بسیار بالا، حساسیت mmhg/µv 4885.221 بدست امده است که نسبت به کارهای گذشته بسیار بهبود یافته است.

کلیدواژه ها

سنسور فشار ، فشار جمجمه ،زیست سازگار ،میکروالکترومکانیکال

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.