ساخت لایه نازک DLC به روش CVD بر روی زیر لایه استیل و بررسی آن توسط طیف سنجی رامان

  • سال انتشار: 1387
  • محل انتشار: پانزدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
  • کد COI اختصاصی: ICOPTICP15_164
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 2153
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

حمید مطهری

گروه فیزیک اتمی و مولکولی، بخش فیزیک، دانشگاه تربیت مدرس

رسول ملک فر

گروه فیزیک اتمی و مولکولی، بخش فیزیک، دانشگاه تربیت مدرس

سارا عباسیان

گروه فیزیک اتمی و مولکولی، بخش فیزیک، دانشگاه تربیت مدرس

فاطمه صادقی

گروه فیزیک اتمی و مولکولی، بخش فیزیک، دانشگاه تربیت مدرس

چکیده

در این مقاله ما تولید یک نمونه DLC بر روی زیر لایه ای از جنس استیل به روش CVD را گزارش می نماییم. لایه های تولید شده به کمک طیف سنجی پس پراکندگی میکرو رامان مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج طیف سنجی رامان نشان داده است که مشخصه اصلی DLC وجود دو قله کوهانی شکل متصل به هم می باشد. همچنین، نحوه رشد و تشکیل لایه الماس گونه تشریح شده است. با کمک عکس های گرفته شده میکروسکپی از سطح نمونه، فرآیند شکل گیری لایه ای از کربن الماس گونه نشان داده شده است

کلیدواژه ها

رسوب گذاری بخار شیمیایی، طیف سنجی رامان، کربن الماس گونه، لایه نازک

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.