شبیه سازی دینامیک مولکولی تشکیل لایه نازک فلزی در روش باریکه نانو خوشه یونیده ICBD

  • سال انتشار: 1386
  • محل انتشار: سومین کنفرانس ملی خلاء
  • کد COI اختصاصی: NCV03_020
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 2519
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

کاووس میرعباس زاده

دانشکده فیزیک دانشگاه صنعتی امیرکبیر، تقاطع خیابان حافظ سمیه، تهران

پیمان نایبی

گروه فیزیک دانشکده فنی مهندسی دانشگاه آزاد اسلامی واحد ساوه، ساوه

شهریار سرآمد

دانشکده فیزیک دانشگاه صنعتی امیرکبیر، تقاطع خیابان حافظ سمیه، تهران

اسماعیل زمین پیما

دانشکده فیزیک دانشگاه صنعتی امیرکبیر، تقاطع خیابان حافظ سمیه، تهران

چکیده

در این مقاله به کمک شبیه سازی دینامیک مولکولی MD شاخصه های برخورد یک نانو خوشه نیکل با اندازه ها و انرژی های مختلف که در روش لایه نشانی باریکه نانو خوشه های یونیده ICBD استفاده می شود ، مورد بررسی قرار گرفت . انرژی خوشه ها eV/atom 20-1 تعداد اتمهای خوشه ها، 14، 47، 18، 55، 87 و 177 انتخاب شدند. در این تحقیق وابستگی سایز خوشه به حداکثر دمای زیر لایه در لحظه برخورد نانو خوشه به سطح و زمان رسیدن به دما مورد بررسی قرار گرفت . همچنین وابستگی سایز و انرژی خوشه ها به تعداد اتمهای جابجا شده در زیر لایه ، اتمهای پراکنش شده و اتمهای نفوذ یافته در زیرلایه بررسی شد .هر یک از این پارامترها نقش کلیدی در نوع لایه بوجود آمده دارند.

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.