شبیه سازی فرآیند لایه نشانی سیلیکن آمورف در راکتور PECVD و بررسی اثر فشار محفظه روی خواص لایه نشانده شده
- سال انتشار: 1386
- محل انتشار: سومین کنفرانس ملی خلاء
- کد COI اختصاصی: NCV03_014
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1333
نویسندگان
آزمایشگاه نانوالکترونیک ، دانشکده برق ، دانشگاه صنعتی شریف
چکیده
در این نوشتار نتایج شبیه سازی فرآیند لایه نشانی سیلیکن آمورف به روش PECVD ارائه شده است و تاثیر فشار محفظه بر روی خواص لایه نشانده شده مورد بررسی قرار گرفته است. به منظور ارزیابی کیفیت و یکنواختی لایه نشانده شده دو معیار کیفی تعریف شده است. همچنین نرخ لایه نشانی سیلیکن آمورف در فشارهای کمتر از یک تور (شرایط متداول لایه نشانی) بر حسب موقعیت مکانی بر روی بستر و الکترود توان نشان داده شده است.کلیدواژه ها
مقالات مرتبط جدید
- چالش های آموزش فیزیک و افت تحصیلی در شرایط کرونا
- نقش شایستگی های کلیدی درآموزش فیزیک - یاددهی و یاد گیری
- نظریات نورشناسی در یونان باستان
- ایجاد فایل های چند رسانه ای با استفاده از رمزینه برای فصل برهم کنش های موج فیزیک پایه دوازدهم
- طراحی و ساخت سامانه مکانیابی و سرعت سنجی اهداف متحرک با استفاده از شبکه حسگرهای داپلر
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.