طراحی و تحلیل سنسور فشار خازنی MEMS با حساسیت بالا و اندازه ی کوچک برای اندازه گیری فشار داخل چشم
- سال انتشار: 1394
- محل انتشار: اولین کنفرانس سالانه تحقیقات کاربردی در مهندسی برق، کامپیوتر
- کد COI اختصاصی: ECCONF01_081
- زبان مقاله: فارسی
- تعداد مشاهده: 1487
نویسندگان
دانشگاه گلستان
دانشگاه گلستان
دانشگاه نوشیروانی بابل
چکیده
این مقاله طرحی جدید از سنسورفشار خازنی با تکنولوژی ممز را که دارای حساسیت زیاد و اندازه ی کوچک است ارائه می دهد. سنسور عنوان شده برای اندازه گیری فشار داخل چشمی در رنج 60-0 میلیمتر جیوه است که برای درمان بیماران گلوکوما استفاده می شود، اندازه ی این سنسور 300x300 میکرومتر مربع است و دارای دیافراگم و صفحه ی متحرک جدا از هم می باشد که به کمک یک کوپلینگ مکانیکی به هم وصل شده اند. دیافراگم با ضخامت 1 میکرومتر و از جنس پلیماید است. دو صفحه که الکترودهای خازن را تشکیل می دهندو کوپلینگ مکانیکی از جنس طلا می باشند. این ساختار توسط نرم افزار اینتلسوییت طراحی شده و با توجه به نتایج شبیه سازی، حساسیت سنسور طراحی شده (3-)3/766x10؛ (1-)(پاسکال) و حساسیت مکانیکی دیافراگم (10-)1/79x10 (متر با کارهای انجام شده قبل دارای اندازه کوچکتر و حساسیت بیشتر و پاسخی خطی تر است.کلیدواژه ها
گلوکوما , سنسور فشار خازنی ممز , پلیماید , کوپلینگ مکانیکی , حساسیتمقالات مرتبط جدید
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.