Simulation and Analysis different Mems Pressure Sensor uses Comsol Multiphysics ۵.۲
- سال انتشار: 1395
- محل انتشار: نخستین کنفرانس ملی تحقیقات بین رشته ای در مهندسی کامپیوتر، برق، مکانیک و مکاترونیک
- کد COI اختصاصی: IRCEM01_182
- زبان مقاله: انگلیسی
- تعداد مشاهده: 729
نویسندگان
Department of Electronic Engineering, Islamic Azad University South Tehran Branch, Tehran, Iran
چکیده
The MEMS different pressure sensor has been introduced and presented.The types of pressure sensor and its theory of operation are also included.The most interesting features of Mems capacitive pressure sensorsrelated to low power consumption, high sensitivity and immutabilitytemperature effects. Few models of pressure sensors have been simulatedand the results are presented. Simulation results show how thecapacitance varies with increase pressure and diaphragm defermationunder pressure. The design, modelling and simulation of pressure sensorshave been done using Comsol/Multphysics ۵.۲کلیدواژه ها
Mems, Pressure, Capacitive & Resister, Pizo, Sensorمقالات مرتبط جدید
- مدلسازی و شبیه سازی جبران ساز سری سنکرون استاتیکی توزیع برای حل چالش های شبکه توزیع بر پایه الگوریتم بهینه سازی گرگ خاکستری
- تاثیر دما بر تنش زدایی فولاد در تمپرینگ عملیات حرارتی
- معماری ادراکی برای تعامل تیمی انسان و ربات
- شبیه سازی اثر تغییر بار بر خروجی مولد فشرده ساز شار دیسکی
- سیستم پرداخت الکترونیکی کارآمد برای تجارت الکترونیک
اطلاعات بیشتر در مورد COI
COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.
کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.