Simulation and Analysis different Mems Pressure Sensor uses Comsol Multiphysics ۵.۲

  • سال انتشار: 1395
  • محل انتشار: نخستین کنفرانس ملی تحقیقات بین رشته ای در مهندسی کامپیوتر، برق، مکانیک و مکاترونیک
  • کد COI اختصاصی: IRCEM01_182
  • زبان مقاله: انگلیسی
  • تعداد مشاهده: 710
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

Nader Ahmadzadeh

Department of Electronic Engineering, Islamic Azad University South Tehran Branch, Tehran, Iran

چکیده

The MEMS different pressure sensor has been introduced and presented.The types of pressure sensor and its theory of operation are also included.The most interesting features of Mems capacitive pressure sensorsrelated to low power consumption, high sensitivity and immutabilitytemperature effects. Few models of pressure sensors have been simulatedand the results are presented. Simulation results show how thecapacitance varies with increase pressure and diaphragm defermationunder pressure. The design, modelling and simulation of pressure sensorshave been done using Comsol/Multphysics ۵.۲

کلیدواژه ها

Mems, Pressure, Capacitive & Resister, Pizo, Sensor

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.