اثر بازپخت بر عملکرد آشکارسازهای نوری نیمه رسانای MSM برمبنای نانوذرات InN

سال انتشار: 1394
محل انتشار: اولین کنفرانس پیشرفتهای نوین در حوزه انرژی
کد COI اختصاصی: CMAES01_058
زبان مقاله: فارسی
تعداد مشاهده: 541

نویسندگان

استادیار - مرکز آموزش عالی فنی و مهندسی بوئین زهرا، گروه علوم مهندسی، بوئین زهرا، قزوین، ایران

چکیده

آشکارسازهای نوری آیندیوم نیتراید با لایه نشانی نانوذرات ایندیوم نیتراید بر روی زیزلایه سیلیکونتوسط دستگاه کندوپاش الکترومغناطیس در دمای محیط و اتمسفری از ترکیبات مختلف گازی ساخته شدند. اتصال های فلزی نقره/ آلومینیوم توسط دستگاه تبخیر حرارتی در خلا Torr؛ (5-)10 در بالا و کف لایه نیمه رسانا ایجاد شد و سپس جهت از بین بردن استرس بین لایه ها و ایجاد ارتباط مطلوب بین فلزات و نیمه هادی عملیات بازیخت روی لایه ها صورت گرفت. عملیات بازپخت در دماهای 200-600 درجه سانتی گراد در اتمسفر نیتروژن صورت گرفت. تأثیرات بازپخت روی مشخصه های ساختاری واپتیکی InN بررسی شد. اندازه گیری های جریان- ولتاژ (I-V) بعد از بازپخت روی لایه ها انجام شد و تأثیر نور در عملکرد آشکارساز نوری InN بدست آمد.

کلیدواژه ها

آشکارساز نوری، عملیات بازپخت، نیمه رساناهای نیتراید و گروه سوم، دستگاه کندوپاش الکترومغناطیس

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.