اثر نسبت مولی اجزاء شرکت کننده در واکنش پوششهای سرامیکی TiN روی ابزارهای برشی به روش CVD

  • سال انتشار: 1381
  • محل انتشار: چهارمین کنگره سرامیک ایران
  • کد COI اختصاصی: ICC04_044
  • زبان مقاله: فارسی
  • تعداد مشاهده: 1576
دانلود فایل این مقاله

نویسندگان

پرویز میرآخورلی

دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج

مرتضی تمیزی فر

دانشگاه علم و صنعت ایران

مجید لمسه چی

سازمان پژوهشهای علمی و صنعتی ایران

چکیده

به منظور افزایش چقرمگی (Toughness) و مقاومت به سایش ابزارهای برشی را با یک لایه نازک (Thin films)پوشش می دهند پوششهای سرامیکی TinوTiCوAl2O3 موادی هستند که از مدت ها پیش مورد استفاده قرار گرفته اند. تکنیک CVD (رسوب گذاری از فاز بخار) از دهه هشتاد میلادی دارای سوابق اندک دانشگاهی در ایران می باشد در این مقاله با طراحی و ساخت راکتور در سازمان پژوهش های علمی و صنعتی ایران پروسه پوشش دهی TiN (نیترایدتیتانیم) به روش CVD انجام گرفته و اثر نسبت مولی گازهای شرکت کننده در واکنش به عنوان عامل اصلی در سرعت رسوب گذاری مورد بررسی و مطالعات ریز ساختارها و سطح مشترک پوشش و زمینه از طریق SEMوXRD و سختی و زبری سطح و میزان چسبندگی پوشش مورد ارزیابی قرار گرفته است ضمن این که عوامل منفی در پروسه مشخص شده است.

کلیدواژه ها

مقالات مرتبط جدید

اطلاعات بیشتر در مورد COI

COI مخفف عبارت CIVILICA Object Identifier به معنی شناسه سیویلیکا برای اسناد است. COI کدی است که مطابق محل انتشار، به مقالات کنفرانسها و ژورنالهای داخل کشور به هنگام نمایه سازی بر روی پایگاه استنادی سیویلیکا اختصاص می یابد.

کد COI به مفهوم کد ملی اسناد نمایه شده در سیویلیکا است و کدی یکتا و ثابت است و به همین دلیل همواره قابلیت استناد و پیگیری دارد.